真空泵的工作原理及分类介绍
作者：格兰斯特
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发表时间：2023-06-01 08:28:04
来源：原创
真空泵的工作原理及分类介绍
真空泵是一种将空气或其他气体从封闭空间中排出的设备，其工作原理主要基于物理学原理和机械结构。通常情况下，真空泵主要用于医疗器械、半导体制造、等离子体研究等行业。下面将详细介绍真空泵的工作原理及分类。
- 工作原理
真空泵是一种通过机械、物理、化学等原理将被抽体内的气体运动到泵的出口，从而形成一定程度上的真空的泵，其基本工作原理如下：
（1） 蒸发式真空泵：利用液体汽化时物质蒸气压力降低的原理，将被抽体内的气体输送到泵的出口，然后通过沉积降温或者引入冷却水进行凝聚，并将凝结的液态物质换出，以此来达到真空的目的。
（2） 机械泵：机械泵利用旋转叶轮产生的转动动能，将气体强制排出容器内，达到真空的目的。其中较为常见的机械泵有旋片式泵、螺杆泵和滑阀泵等。
（3） 分子泵：分子泵主要基于气体分子之间的相互作用力，利用高速旋转的转子来加快气体分子的速度，将气体排出容器内，并通过吸附剂和离子泵等保持真空状态。
- 分类介绍
根据其工作原理和结构形式的不同，可以将真空泵分为以下几种类型：
（1） 蒸发式真空泵：单级减压油封泵、双级减压油封泵、干式凝聚泵、沉积/冷阱泵、扩散泵、
（2）机械泵：旋片式泵、滑阀泵、螺杆泵、涡环泵
（3）分子泵：扩散分子泵、离子泵、吸附分子泵
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